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真空爐的真空度測量

作者: 發布時間:2019-05-09 瀏覽次數:491
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   真空測量是真空技術中的一個重要組成部分。用于測量真空度的儀器稱為真空計。  真空熱處理爐及真空熔煉爐常用的真空計有:熱偶真空計電離真空計等。它們的工作原理如下:  

  (一)熱偶真空計
   熱偶真空計由敏感元件、熱偶規管和測量儀器組成。熱偶規管與被測真空系統相通,外殼為玻璃管,管內有加熱絲
和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時,由于溫差效應,在回路中有熱電勢產生。如加熱絲電壓保持恒定,則熱偶絲
的電勢限決于加熱絲的溫度,而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強有關。壓強低,氣體熱導率小,被氣體帶走的熱量少,加
熱絲溫度升高,熱偶絲的熱電勢增大;反之,則熱電勢減少。回路中的熱電勢用毫伏表測量,表中的毫伏數即反映出真空
度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩定,而接入了穩壓電源。所以測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和規管加熱絲穩壓電
源兩部分組成。
 (二)電離真空計
  這種真空計主要用于測量高真空度。在低壓強氣體中,氣體分子被電離生成的正離子數與氣體壓強成正比按照離產生
的方法不同,利用熱陰極發射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計;其中,熱陰極電離真空計由熱陰極規管和測
量儀器組成。測量儀器由規管工作電源、發射電流穩壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規管與被測真空系
統相通。熱陰極電離規管是一個三極管,管內有陰極、柵及和收集極。收集極電位相對于陰極電負電位;柵極相對于陰極
電正電位。當電離規管通電加熱后,陰極發射電子,在電子到達柵極的過程中,與氣體分子碰撞而產生正離子和電子的電
離現象。當發射電流一定時,正離子數日與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后,經測量電路放大,可由批示電
表讀出所要測量的真空度。
  (三)復合真空計
  通常,對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成,而應采用復合真空計,應用較多的是電離與熱偶式復合真
空計。它的測量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測量(10-1--10-3)×133.32Pa的低真空;電離真空計測量
133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復合真空計附有一個熱偶規管、一個電離規管,分別接在真空系統上,通過旋
鈕可分別給兩個規管加熱,并選擇使用。

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